В этом документе говорится о важности и безотлагательности содействия развитию индустрии интегральных микросхем до ключевой технологии контроля поверхностного загрязнения окружающей среды (SECC) IC yeid-пластин. молекулярное загрязнение, переносимое по воздуху (AMC), является важным фактором, вызывающим случайные дефекты в пластинах, и этот эффект станет более серьезным с уменьшением ширины линии пластин. допустимая контрольная концентрация различных загрязнителей воздуха в каждом процессе производственного процесса, выражается в ppTV. Из-за стандарта строгого контроля требуется, чтобы проектирование системы вентиляции для контроля химического загрязнения в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, выбор воздуха химический фильтр, настройки и требования к производительности. в соответствии со стандартом. Кроме того, представлены показатели эффективности воздушного химического фильтра, испытательного стенда фильтра и процедуры испытаний в стандарте ASHRAE 145.2-2016 и других содержаниях.

Или мы могли бы исполнить мечты об уборке дворники для чистых помещений ? Думаю, ответ ДА.